通过化学气相沉积法制备石墨烯并采用热蒸发法在石墨烯上沉积锡（Sn）及其氧化物,得到石墨烯基SnOx-Sn气敏传感器,研究其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮（NO2）气体的气敏性及SnOx-Sn膜厚和基底加热温度对传感器气敏性的影响。通过场发射扫描电镜（FESEM）、原子力显微镜（AFM）等表征手段研究了石墨烯基SnOx-Sn气敏传感器的形态结构。 得到石墨烯基SnOx-Sn气体传感器。将石墨烯基SnOx-Sn气体传感器放入自制的测试腔，使测试电极与传感器上的银浆良好接触。通过Agilent34970A数据采集仪测定传感器的电阻值，通过气体混合仪GmixUSB/ＲS4851．5控制标准体积分数测试气体(10×10－6HCHO)和载气(99．99%N2)的比例以控制通入测试腔的气体体积分数。响应灵敏度定义为S=(Ｒg－Ｒ0)/Ｒ0式中Ｒ0为传感器在纯载气中的稳定电阻值;Ｒg为传感器响应甲醛气体后的电阻值。2实验结果与讨论图1(a)是蒸发速率为0．3×0．1nm/s厚度1nm的石墨烯基SnOx-Sn传感器对不同体积分数甲醛的响应曲线。可以看出:甲醛体积分数分别为0．5×10－6，1×10－6，2×10－6，5×10－6，10×10－6时，传感器的响应灵敏度分别为0．31%，3．53%，6．91%，10．83%，14．39%。由此可知，传感器的响应随着甲醛体积分数的增大而升高。图1(b)为不同厚度的SnOx-Sn石墨烯响应与甲醛体积分数的关系。可以看出:当SnOx-Sn膜厚为1nm时，对甲醛的响应最佳，膜厚为0．5，2，3nm时的响应则依次降低。理论模型-数控滚圆机滚弧机液压滚圆机价格低电动滚圆机多少钱不同厚度的SnOx-Sn石墨烯膜对甲醛气体的响应均高于本征石墨烯，且本征石墨烯仅对体积分数为10×10－6的甲醛响应，可见 本文由张家港市泰宇机械有限公司滚圆机网站采集网络资源整理!www.gunyuanji.name，SnOx-Sn膜对石墨烯气敏性有很好的提升作用。传感器对甲醛的响应与SnOx-Sn膜厚的关系源于不同厚度的SnOx-Sn薄膜石墨烯在形态结构上的差异。通过对不同厚度的SnOx-Sn薄膜的场发射扫描电子显微镜通过建立4层结构模型对涂覆介质层的微泡谐振腔进行热响应特性理论建模,研究了回音壁微泡腔外壁涂覆介质层时的热响应特性;利用有限元数值模拟的方法计算了涂覆介质层微泡腔的模式场分布和温度传感灵敏度。计算结果表明:具有氟化钙（CaF2）涂覆层的微泡腔在径向一阶和径向二阶模式下能够有效降低温度升高引起的红移效应,而在径向三阶模式下,其温度灵敏度较传统的二氧化硅微泡腔提升了约55%,研究结果对进一步提升微泡腔的潜力具有重要意义。介质层的微泡谐振腔热响应特性数值模拟分析1理论模型在微泡腔外壁涂覆介质层后，构成4层结构如图1所示。4层结构微泡腔置于空气中，要求最外层的涂覆介质层折射率要与二氧化硅接近，且具有高透光率的特性，以保证倏逝光最大程度的进入微泡腔中形成回音壁模式。当微泡腔内部微流通道流过不同的样品或微泡腔整体的有效折射率发生变化时，回音壁模式的谐振频率发生偏移。由于低阶径向模式下光场集中在微泡腔外壁附近，因此，4层结构微泡腔的腔壁厚度需尽量薄，以保证光场耦合进入微腔内部。图14层微泡腔理论模型当融锥光纤与微泡腔耦合激发WGM时，利用麦克斯韦方程组可以得到光场模式的解析解，光场在径向上的电场分布可写为［为待定系数;Jm()为m阶的第一类Bessel函数;H(1)m()为m阶的第一类Hankel函数;k(ml)为角量子数为m，径向量子数为l模式的波矢绝对值;ncore，nwall，nfilm，nair分别为液芯、二氧化硅层、涂覆层以及外部环境(空气)的折射率;Ｒ1，Ｒ3分别为涂覆介质层微泡腔的内径和外径;Ｒ2为二氧化硅微泡腔外径;t0为二氧化硅层的厚度;h为外部涂覆层的厚度。利用Eml(r)的边界条件和式(1)，即可求得给定的m值以及对应的波矢k(ml)。一般4层结构微泡腔的谐振模式满足理论模型-数控滚圆机滚弧机液压滚圆机价格低电动滚圆机多少钱 本文由张家港市泰宇机械有限公司滚圆机网站采集网络资源整理!www.gunyuanji.name